日前，在位於維揚經濟（jì）開發區生態科（kē）技園的揚州摩笛爾電子（zǐ）材（cái）料有限公司，技術總監楊先（xiān）金博士抱起一（yī）隻比普通滅火器略大的綠色氣罐向記者介紹說（shuō），氣罐裏裝著該公司研發的（de）高純電子氣體“特摩爾”，30公斤裝，售價高達4.5萬元，“這種氣體可用（yòng）於加（jiā）工最新一代（dài）晶圓及抗癌藥物製備、精密儀器清洗等領域，填補了國內空白。”
納米級應用“精雕細琢”助力國（guó）產芯片升級加速
電子氣體是集成電（diàn）路、光電子、微電子（zǐ）特（tè）別是超大規模集成電路、液晶（jīng）顯示器（qì）件、半導體發光器件和半導體材料製造過（guò）程（chéng）中不可缺少的基礎性（xìng）材料，主（zhǔ）要用於外延（yán）、摻雜和蝕刻工藝，被稱為電子工業的“血液”和“糧食”，它的純度和潔淨度直接影響著（zhe）電路及器（qì）件（jiàn）的精確性和準確性（xìng）。
摩笛爾研發出的（de）“特摩爾（ěr）”，就是（shì）一種新型幹蝕刻電子氣體。楊（yáng）先金介紹，特摩爾具有蝕刻條件溫（wēn）和、蝕刻（kè）損傷少、蝕刻精度高、環境（jìng）友（yǒu）好（hǎo）等優勢，“它可用於（yú）加工最新一代晶圓及抗癌藥物製（zhì）備、精密儀器清洗等領域，助力國（guó）產芯片升級加速。”
楊先金說，人們常說的芯片，就是在晶圓片上刻蝕出晶體管製作而（ér）成的電路（lù）結（jié）構，晶圓數值越低，就越能提（tí）升芯片的性能和降低芯片的尺寸，同時有效降（jiàng）低功耗和發熱（rè）量。因（yīn）此，最新一代的晶圓已（yǐ）經達到了納米（mǐ）級。“在納米級（jí）的晶圓上‘幹活’，比在頭發絲上作畫都要複雜精細。”楊先金表示，“特摩（mó）爾”之所以（yǐ）能夠做到“精（jīng）雕細琢”，除了具有腐蝕性外，其（qí）純度也很高，“與一般電子氣體（tǐ）99.99%的純度相比，特摩爾的（de）純度（dù）達到了99.995%，能（néng）夠有效降低芯片加工過程中的次品率。”
楊先金介紹，目前產品正處（chù）於中（zhōng）試期（qī）間，售價比較優惠，待量產後預計將賣到200萬元/噸。
政企同發力，海歸博士組團研發（fā），專項資金大力扶持
這家年輕的（de）揚州公司，為何能夠研發出填補國內空白的高精尖產品？
據介（jiè）紹，該公司研發團隊由七名海歸博士組成（chéng）。這支陣容豪華的隊伍，研發（fā）方向橫跨半（bàn）導體、河口海洋分析、計算機智能控製技術、生物製藥等領域，為實驗室技術向工廠（chǎng）化工藝推（tuī）進（jìn），奠定了雄厚的研發力量。尤其是領銜團隊的張嘉（jiā）恒（héng），他多年來從事綠色電子氣（qì）體的製（zhì）備與高純度研（yán）究（jiū），開發出“氣（qì）體中超微量雜質的富集技術”“微量未知氣體雜質結構解析技術”“氣體低（dī）溫精餾提純技術”等多項新技（jì）術。
“產品研發成功（gōng），也離不開政府部門的大力支持。”楊先金（jīn）介紹，公司前不久（jiǔ）獲（huò）得了市天使（人才（cái））專項資金200萬元（yuán）。“在各級（jí）政府（fǔ）的關心和支（zhī）持下，公司發（fā）展大大超出預期。目前，我們正與揚（yáng）州一家化工企業洽談（tán），準備上馬設備，預計今年產能能達到100噸，實現銷售2億元。”
