供應磷烷（wán）混合氣 PH3氣體

保（bǎo）定北方特種氣體（tǐ）有限公司，可以配比不同濃度（dù），不同鋼瓶（píng）容積的磷烷（wán）、砷烷、矽烷、硼烷等電子特氣。原廠品（pǐn）質，請放（fàng）心購買（mǎi）。 1%PH3+H2 1+/-0.03% PH3: 6N H2O≤0.1，CO2≤0.1，N2≤0.1，O2+Ar≤0.2，AsH3≤0.1,，THC≤0.1 48.8L CGA350 100KGf/cm2 H2:O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 440L DISS632 作用 在電子氣家族中，矽烷（wán）、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大，是IC製造（zào）極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件製造中的重要 N型摻雜源，同時磷（lín）烷還用於（yú）多（duō）晶矽化學氣相沉澱、外延 Ga P材料、離子注人工藝（yì）、MO C V D工藝、磷矽玻璃(PSG)鈍化膜製備等工（gōng）藝中（zhōng）。PH3 ，易燃、易爆、劇毒，其毒性 數為：PEL/TLV 0.3×10， STEL1×10，LC5020×1O，ZDLH200×10，屬劇毒（dú）危害品。