


12月1日,洛陽市生態環境局發布昊華氣體有(yǒu)限公司半導體用刻(kè)蝕氣體項目環評報告公示。

項目名稱(chēng):半(bàn)導體用刻蝕氣項(xiàng)目;
建設單位:昊華氣體(tǐ)有限公司;
建設(shè)地點:洛陽市孟津區先進製造業開發區石化園區道南路12號;
總投資金額:13527萬元,環保投資240萬元;
項目概況:擬利用三氟化氮一期精品場地建設半導體用刻蝕氣生產裝置,主(zhǔ)要布(bù)設尾氣處理區、冷液(yè)係統(tǒng)及熱油係統(tǒng)區、產品(pǐn)膜壓機區、精餾分離區、吸附區(qū)與產品(pǐn)充裝區,新增裝置配套製冷站、熱油機和廢氣處理設施。
項目裝(zhuāng)置生產規(guī)模1440t/a,其中電子級溴化氫為400t/a、電子級三氟化硼為30t/a、電子級一氟甲(jiǎ)烷(wán)為50t/a、電子級二氟甲烷為60t/a、電(diàn)子級三氟(fú)甲烷200t/a、電(diàn)子級六氟乙烷100t/a、電子級八(bā)氟環丁烷 400t/a、電子級六氟丁二烯200t/a,副產40%氫溴酸 100t/a和99.6%三氟(fú)化硼1.919t/a。