


據日媒4月9日(rì)消息,日本組合化學工業(yè)株式會社成功(gōng)實現了用於尖端半導體存儲(chǔ)器領域的高純度COS氣體的商(shāng)品化,並(bìng)將從2025年度開始銷售。公司將以此為契機,拓展包括尖端半導體(tǐ)存儲器在內的新事業領域,並將繼續挑(tiāo)戰新化合(hé)物的發現和材料的(de)開發。

該公司自2017年與井原化學工業(yè)合並以來,一直致力於(yú)開發新產品,使化學產品業務成為繼(jì)主營農化業務之後的第二(èr)大(dà)業(yè)務支柱。組合化學工業在開發過程中注意到其農用化學品中間體硫化羰(COS)在半導體存儲器(3D NAND)製造中用作蝕刻氣體,並於2019年開始開發(fā)COS氣體。
為了將COS氣體用於半導體級(jí),必須提高其純度,使其成為“高純度COS氣(qì)體”,因此我們(men)將於2021年在靜岡工廠建(jiàn)設一座新的COS純化工廠。近期,該公司通過優化COS精煉工廠(chǎng)的生產方式,成功實(shí)現了半導體級高純度COS氣體的商業化,並將於2025財年開始全麵銷售。
組合化學工業計劃以高(gāo)純度COS氣體的銷售為跳板,拓展新的事業領域,其中包括尖端的半導體存(cún)儲器(qì)領域。

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