1. 特種氣體(Specialty gases) ：指那些在特定領域中應用的, 對氣體有特殊要求（qiú）的純氣、高純氣或由高（gāo）純單質氣體（tǐ）配製的二（èr）元或多元混合氣。特種氣體門類繁多, 通常可區分（fèn）為電子氣體、標準氣、環保氣、醫用氣、焊接氣、殺菌氣等, 廣泛用於電（diàn）子、電力、石油（yóu）化工、采礦、鋼鐵（tiě）、有色金屬冶煉、熱力工程、生化（huà）、環（huán）境監測、醫學研究及診斷、食品保鮮（xiān）等領域。
2、標準氣體(Standard gases) ：標準（zhǔn）氣體屬於標準物質。標準物質是高度均勻的、良（liáng）好穩定和量值準（zhǔn）確的測定標準, 它（tā）們具有複（fù）現、保存和傳遞量值的基本作用, 在物理、化學（xué）、生物（wù）與工程測量領域中用於校對( [準測（cè）量儀器和測（cè）量過程, 評價測量方法的（de）準確度和檢測實驗室的檢測能（néng）力（lì）, 確（què）定（dìng）材料或產品的特性（xìng）量值, 進行量值仲裁等。大型乙烯廠、合成氨廠及（jí）其它石化（huà）企業, 在裝置開車、停車和正常生（shēng）產過程中需要幾十種純氣和幾+百種多組分標準（zhǔn）混合氣（qì）, 用來校準、定標生產過程中使用的在線分析儀器和（hé）分析原料及產品（pǐn）質量的儀器。標準氣還可用於環（huán）境監測, 有毒的有機物測量, 汽車排放氣測試, 51吃瓜网BTU 測量, 液化石油氣校正標準, 超臨界流體工藝等。標（biāo）準氣（qì）視（shì）氣體組分數區分為二元、三元和多元標準氣體（tǐ）; 配氣準度要（yào）求以配氣（qì）允差和分析允差來表征;比較通用的有SE2M I 配氣允差標準, 但各公司均有企業標準。組分的（de）最低濃度為10- 6級, 組分數可多達20餘種配製方法可采用（yòng）重量法, 然（rán）後用色譜（pǔ）分析校核, 也可（kě）按標準傳遞程序進行傳遞。
3、 電（diàn）子氣體(Electronic gases) ：半導體工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可（kě）分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣（qì）體主要用於外（wài）延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀（xī）釋（shì）氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用（yòng）場合，可分為電子級、LSI(大規模集成電（diàn）路) 級、VLSI (超大規模集成電路) 級和ULSI (特大規模集成電（diàn）路)級。
4. 外延氣體(Cpitaxial gases) ：在仔細選擇的襯（chèn）底上（shàng）采（cǎi）用化學氣相澱積(CVD) 的方法（fǎ）生長一層或（huò）多層（céng）材料所用氣體（tǐ）稱為外（wài）延氣體。矽外延氣體有4 種, 即矽烷（wán）、二（èr）氯二氫矽、三氯氫矽和四氯化矽, 主要用於（yú）外延（yán）矽澱積, 多晶矽澱積, 澱積氧化矽膜, 澱積氮（dàn）化（huà）矽膜, 太（tài）陽電池和其他光（guāng）感（gǎn）受器的非晶矽膜（mó）澱（diàn）積。外延生長是一種單晶材料（liào）澱積並生長在襯（chèn）底表麵上（shàng）的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。
5. 蝕刻氣體(Etching gases) ：蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽（bì）的加工表麵如氧化矽膜、金屬膜等蝕刻掉, 而使有光刻膠掩蔽（bì）的（de）區域保存（cún）下來, 這樣便在基片表麵得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是, 圖形邊緣整齊, 線條清晰, 圖形變換差（chà）小, 且對光刻膠膜及其掩蔽保護的表麵無損傷和（hé）鑽蝕。蝕（shí）刻（kè）方式有濕法化學（xué）蝕刻和幹法化學蝕刻。幹法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多（duō）為氟（fú）化（huà）物氣體, 例如四氟化碳、三（sān）氟（fú）化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。幹法蝕刻由於蝕刻方向性強、工藝控製精確、方便、無脫膠現象、無基片損（sǔn）傷和沾汙（wū）, 所以其應用範圍日（rì）益廣泛（fàn）。
6. 摻雜氣體(Dopant Gases)：在半導體器件和集成電路製造中, 將某種或某些雜質（zhì）摻入（rù）半（bàn）導體材料內, 以使材料（liào）具有所需要的導電類型和一定的電阻率, 用來製造PN結、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。主要包括砷烷、磷烷（wán）、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷（shēn）、五氟化砷、三氯化硼（péng）和乙硼烷等。通常將摻雜源與運載氣體(如氬氣和氮氣) 在源櫃中混合, 混合後氣流連續流入擴散（sàn）爐內環繞（rào）晶片四（sì）周（zhōu）, 在晶片表麵沉積上化（huà）合物摻雜劑, 進而與矽反應生成摻雜金屬而徙動進入矽。
7. 熏蒸氣體（tǐ）(Sterilizing Gases) ：具有殺菌作（zuò）用的氣體稱熏蒸氣體（tǐ）。常用的氣體品種有環（huán）氧乙烷、磷烷、溴甲烷、溴甲醛、環氧丙（bǐng）烷等。其滅菌原理是利用烷化作用, 使微生物組織內維持生命不可缺少的物質惰化。最經常使用的是以不同比（bǐ）例配製的環氧乙烷和二氧化碳的（de）混合氣, 根據用途（tú）不同, 環氧乙烷的含量（liàng）可以是（shì）10%、20%和30%等。也可采用環氧乙（yǐ）烷和氟利昂12的混合氣（qì）,環（huán）氧乙烷與氟利昂11和氟利昂12的混合氣等。殺菌效（xiào）果與（yǔ）各組分濃度、溫度（dù）、濕度、時間和壓力等因素有關。熏（xūn）蒸氣體可（kě）以用於衛生材料、醫療器具、化妝品原料、動物（wù）飼料、糧食、紙鈔（chāo）、香辣
8. 焊接保護氣體(Welding Gases)：氣體保護焊由於具（jù）有焊接質量好, 效（xiào）率高（gāo）, 易實現（xiàn）自動化等優點而得以迅速發展。焊接保護氣體可以（yǐ）是單元氣（qì）體, 也有二元、三元混合（hé）氣。采用焊接保護氣的目的在於提高焊縫質量, 減少焊縫加熱作用帶（dài）寬度, 避（bì）免材質氧化。單元氣體有氬氣、二氧化碳, 二元混合氣有氬和氧, 氬和（hé）二氧化碳, 氬和氦, 氬和氫混（hún）合氣。三元混合氣有氦（hài）、氬（yà）、二氧化碳混合氣。應用中視焊材（cái）不同選擇不同配比的焊接混合氣。
9. 離子注（zhù）入氣( Gases for IonImplantation)：離子注入是（shì）把離子化的雜質, 例如P + 、B + 、As+加速到高能量狀態（tài）,然後（hòu）注入到預定的襯底（dǐ）上。離子注入技（jì）術在控製Vth(閾（yù）值電壓) 方麵應用得z*為廣（guǎng）泛。注入的雜質量可通過測量離子束電流而求得。離子注入工藝所（suǒ）用（yòng）氣體稱（chēng）離子注入氣, 有磷係、硼係和砷係氣體。
10. 非液化氣（qì）體(Nonliquefied Gases)：壓縮氣（qì）體依據於一定壓力和溫（wēn）度下在（zài）氣瓶中的物理狀態和沸點範圍可以區分為兩大類, 即液化氣體和非液化氣體。非液化氣體（tǐ）係指（zhǐ）除溶解在溶液中的氣體之外（wài）, 在（zài）2111℃和罐裝壓力下完全是氣態的氣體。也可定義為在正常地麵溫度和13789～17237kPa 壓力下不液化的氣（qì）體。
11. 液（yè）化氣（qì）體( Liquefied Gases )：在（zài）2111℃和罐裝壓力下部分液化的氣（qì）體。或定（dìng）義為（wéi）在正常溫度和172142～17237kPa壓力下在氣瓶中液化的氣體。壓縮氣體（tǐ）(Compressed Gases)壓縮氣體是指在2111℃下, 在氣瓶中絕對壓力超過27518kPa的任何（hé）氣體或混合（hé）物; 或與2111℃下的壓力無關（guān）, 於5414℃下絕對（duì）壓力超過717kPa 的任何氣體或（huò）混合物（wù）; 或於3718℃下氣體絕對壓力超27518kPa的（de）任何液體。
12. 稀有（yǒu）氣體(Rare Gases)：元素周期表最後一族的六種惰性氣（qì）體中的任何一種氣體, 即氦、氖、氬、氪、氙、氡。前五種氣體均可以空氣分離方法從（cóng）空氣中提取（qǔ）。
13. 低壓液化氣體（tǐ）(Low Pressure Liquefied Gases) ：臨界溫度大於70℃的氣體。區分（fèn）為不燃無毒和不燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 可燃無毒和（hé）可燃有毒、酸性腐蝕性氣體; 易（yì）分解或聚合的可燃氣（qì）體。此類氣體（tǐ）在充（chōng）裝時以及在允許的工作（zuò）溫度下貯運和使用過程中均為液態。包括的氣體品種（zhǒng）有一（yī）氟二氯甲烷、二氟氯甲烷、二氟二氯甲烷、二氟溴氯甲烷、三（sān）氟氯乙烷、四氟二氯乙烷、五氟氯乙烷、八氟環丁烷、六氟（fú）丙烯、氯、三氯化硼、光氣、氟化氫、溴化氫、二（èr）氧（yǎng）化（huà）硫、硫（liú）酰氟、二（èr）氧化氮、液壓石油氣、丙烷、環丙烷、丙烯（xī）、正丁烷、異丁烷、1- 丁（dīng）烯、異丁烯、順- 2-丁烯、反- 2- 丁烯、R142b、R 143a、R152a、氯乙烷、二甲醚、氨、乙胺、一甲胺（àn）、二甲胺、三甲胺、甲硫醇、硫化氫、氯甲烷、溴（xiù）甲烷、砷烷、1, 3—丁二烯、氯乙烯、環氧乙烷、乙烯（xī）基甲醚、溴（xiù）乙烯。
14. 高壓液化氣體(High Pressure Liquefied Gases) ：臨界溫度大於或等於-10℃且小於或等（děng）於70℃的（de）氣體。區分為不燃無毒和不燃有毒氣體; 可燃無毒和自（zì）燃有毒氣體; 易分（fèn）解或聚合（hé）的（de）可（kě）燃（rán）氣體。此類（lèi）氣體充裝時為液態,但在允許的工作溫度下貯運和使用過程（chéng）中其（qí）蒸汽壓隨（suí）溫（wēn）度的升高而升高, 超過臨界溫度時蒸發（fā）為氣體。所包括的（de）氣體品種有一氧化二氮、二氧化碳、三氟甲（jiǎ）烷、三氟氯甲烷、三氟溴甲烷、六氟乙烷、六氟（fú）化硫、氙、氯化氫、乙（yǐ）烷、乙（yǐ）烯、1, 1- 二氟乙烯、矽烷、磷烷、氟乙烯、乙硼烷。
