


國外(wài)氣體企業在(zài)國際氣體市場中占有寡頭(tóu)地位(wèi)。
電子特氣行(háng)業具(jù)有(yǒu)較高的進入壁壘,空氣化工、林德集團、液化空氣和大陽(yáng)日酸等四大公司控製著全球90%以(yǐ)上的市場份額,呈現寡頭壟斷的格局。在國內市場,海外(wài)四大氣體巨頭控(kòng)製了我國電子(zǐ)特氣市場88%的份額,國內氣體公司市場份額合計僅占12%,國內企業占比較低。電子氣體長期處於“卡脖子”狀態。
◆美(měi)國空氣化工產品
空氣化工產品(APD)在1940年成立於美國賓州,是全球(qiú)第三大氣體供應商。銷售和服務空分氣體(tǐ)、特(tè)種氣體(tǐ)、氣(qì)體(tǐ)設備等。
APD公司是世界大宗工業氣體巨頭,也是電子特(tè)種(zhǒng)氣體行業的先驅。APD公司主要生產大(dà)宗工業氣體和(hé)稀有氣(qì)體。大宗工業氣體(tǐ)包含(hán)氧氣,氮氣和氬氣等(děng)氣體,也包含氫氣、氦氣、二氧化碳(tàn)、一氧化碳和合成氣等工業氣體。2020年度營業收入為891.9億美元,淨利潤為17.6億美元(yuán)。
◆林德集團
林德集團1879年成立於英國,2018年與氣體行業(yè)巨頭普萊克斯(sī)合並,成為全球最大的工(gōng)業氣體供應(yīng)商。林德集(jí)團氣體業務遍布全球,也是最早進入中國的、布局(jú)最多的氣(qì)體行業外資巨頭。
2020年(nián)全年公司銷售額為(wéi)272億(yì)美元,營業利潤為58億美元,同比上漲10%林德集團成立聯華林德,主攻中國市場。聯華林德自1984年以來,一直(zhí)引領(lǐng)著中國大陸和中國台灣的氣體供應,並獲得了中國大陸和中國台灣的大宗氣體市(shì)場份額第一、電子特種氣體市場份額第五的成績。
針對(duì)半導體,聯華林德能提供涵蓋所有(yǒu)製造工藝的電子特種(zhǒng)氣體(tǐ)廣泛(fàn)的產品組合和大(dà)宗氣體(tǐ)解決方案;麵向平板顯示領域,聯華林德則有強大的N2O供應(yīng)能(néng)力,還有專利的合成和純化技術;在太陽(yáng)能領域(yù),則有矽烷(SiH4)和(hé)氨氣(NH3)的全球供應網絡;除(chú)了台積電,中芯國(guó)際(jì)、長江存儲、長鑫(xīn)科技以(yǐ)外,Intel大連、Samsung蘇州(zhōu)、京東方、華星光電都是林德集(jí)團服務過的客戶。
◆法國液空集團
法國液空集團1902年(nián)成立於法國巴黎,在林德集團與普萊克(kè)斯合並前(qián)是全球市值最大的氣體供應商。液(yè)化空氣集團氣體(tǐ)業務遍(biàn)布全球,主要為(wéi)冶金、化(huà)工、能源等行業客戶供應氧氣、氮氣、氬氣、氫(qīng)氣(qì)、一氧化氮等產品,也為汽車、製造(zào)業(yè)、食品、醫藥、科技等行業客戶提供(gòng)工業(yè)氣體、製氣設備、安全裝臵等。
法(fǎ)國液(yè)空(kōng)集團2020全年銷售額204.85億歐元(yuán)(約244億(yì)美元。其中,氣體與(yǔ)服務銷(xiāo)售額196.65億(yì)歐元。
日本(běn)的特氣供給在行業內處於領先地位(wèi)。當前在日本國內,半導體方麵的高純度氣體市場規模約為40億元左右(yòu),在全球市場規模更大(dà),約335億元。其“主戰場”為韓國、中國台灣、中國大陸等東(dōng)南亞地區(qū)。另一方麵,供應高純度氣(qì)體的(de)廠家依舊是日本企業占大多數(shù)。如(rú)昭和電工、太陽(yáng)日酸、關東電化工業(yè)、ADEKA(艾迪科)、日本中央銷子、住友精華、大金工業等都生產和銷售各種電子材料方麵的(de)氣體。
◆昭和電工
日本昭和電工成立於1939年,是全球知名的綜(zōng)合性集團企業,生產的(de)產品涉及多種領域,設有化學品事業部,專門從事產業氣體、電子材料用高(gāo)純度氣體的研(yán)發(fā)、生產。
昭和電工株式會社在上海的生產基地-上海昭和電(diàn)子化學材料有(yǒu)限公(gōng)司的旁邊(biān)取得第二工廠建設用地,建設高純度N2O(一氧化二氮)和高純度C4F8(八氟環丁烷)的生產設施,以及高(gāo)壓氣體危險品倉庫。第(dì)二工(gōng)廠擬於2021年下半年投產。高純度N2O主要是半導體及(jí)顯示屏製造(zào)時的氧化膜的氧來源的特種(zhǒng)氣體,高純度C4F8主要是這種氧化(huà)膜的微細加(jiā)工(蝕刻)時的特種氣體。
◆太陽日酸
TaiyoNipponSanso(太陽日酸(suān))大陽日酸株式會社創立於1910年,是日本最大工業氣體製造商,至今發展已經有近110年曆(lì)史,同(tóng)時公司(sī)為領先的半導(dǎo)體氣體供應商,廣(guǎng)泛應用於IC(集(jí)成電路(lù))和存儲器(半導體存儲設備)、液(yè)晶、太陽能電池、LED和超精(jīng)細機(jī)械結構。太陽日酸(suān)的電子(zǐ)特氣產品覆蓋了半導(dǎo)體製程中從沉積,清洗,蝕刻再到離子注入等不同環節,還兼顧了用於保護的惰性氣體品類。除了直接提供氣體產(chǎn)品,太陽日酸還為客戶提供(gòng)一(yī)係列氣體設備,供客戶現場製備(bèi)氣體和(hé)儲存氣體而使用。
◆關東電化
日本關(guān)東(dōng)電化工業公司曆史悠久,技術積累深厚。它成立於1938年(nián),在電解領域,主要是在氫氟(fú)酸電解(jiě)製備高純氟氣,和氟(fú)相(xiàng)關的技術方麵(miàn)有深厚的知識和技巧(qiǎo)的積累。主要應用(yòng)領域包括電池化(huà)學、醫藥化學和農業化學等。日本關(guān)東電化工業在半導體領域(yù)主要以氟化物氣體為主。從生產環節上來(lái)說(shuō)覆蓋了半(bàn)導體清洗,蝕(shí)刻和(hé)沉積環節。
◆艾(ài)迪科
艾迪科(ADEKA)是(shì)在曆(lì)史悠久的食品和(hé)化工綜合供應商。。
ADEKA在半導體電子特氣方麵(miàn)以(yǐ)三種刻蝕氣體為主。它們分別是高純氯氣、高純溴化氫和高純(chún)三氯化硼。這三種氣體在半導體材料的刻蝕流程上均有重要應用。
我們(men)通過對國內電子特氣公司進(jìn)行梳理,國內特氣公(gōng)司實現國(guó)產替(tì)代呈現四個層級:
1.通過產能優勢快速切(qiē)入半導體刻蝕氣體,部分含(hán)氟氣體已經實現國產替代,如三氟化氮、六氟(fú)化硫,代表(biǎo)企業有中船重工(718所(suǒ))、昊華科技(昊華氣體(tǐ))、雅(yǎ)克科技(科(kē)美特)、南大光(guāng)電(飛源氣體)。
2.通過技術升(shēng)級切(qiē)入半導體化學沉積,部分國產替代初顯成效,如六氟化鎢、四氟化(huà)碳,代表企業有中船重工(718所)、昊華科技(昊華氣體)、雅克科技(科美特)。
3.通過某種特氣進入核心供應(yīng)商,切入多種半導體氣體,代表企業(yè)有華特氣體、南大光電。
4.從空分氣體或者大化工進入半導體領域,具備技術(shù)及產能儲備,代表企業有巨化股份(中巨芯)、三孚股份、金宏氣體、凱美特氣、和遠氣體。
◆中船重工(718所)
主(zhǔ)要涉及氣體:刻蝕氣體(tǐ),鎢(wū)沉積氣體
七一八研究所隸屬於世界500強中國船舶集團有限公司,創立於1966年,總(zǒng)部位於河北省邯鄲市,已形(xíng)成(chéng)電子特氣材(cái)料、精細化工、空(kōng)氣淨化、氫能產業、核電裝(zhuāng)備、節能環保(bǎo)、安防信息工程及特種裝備等8大產業方向。
目前,中船重工第七一八研究所(派瑞特種氣體有限公司(sī))生產的三氟化氮、六(liù)氟化鎢及三氟甲磺酸係列產品在國內(nèi)占有率第一,同時(shí)銷往國外二十多個(gè)國家和地區。
◆昊華科技
主(zhǔ)要涉及氣體:刻蝕氣體,鎢沉(chén)積(jī)氣體(tǐ)
昊華化工科(kē)技集團股份有限公司(昊華科技(jì))及其下屬研究所曆史悠久,積累深厚。
昊華科技旗下黎明院和光明院是承擔著主(zhǔ)要電子(zǐ)特氣業務的子公司。其中光明院以氫(qīng)化物(wù)氣體為主,比如(rú)硫化氫硒化氫;而黎明院以氟化氣體為主(zhǔ),比(bǐ)如三氟(fú)化氮,四(sì)氟化碳,六氟化硫和六氟化鎢。
公司子公司黎(lí)明院是最早從事六氟化硫(liú)研發的企業,亦是國內僅有的高純度六氟化硫研製企業。黎明院含氟氣體達到(dào)國內(nèi)領先(xiān)水平,主攻六氟化硫(liú)、三氟化氮。
光明院主要產品為各類特種氣體(tǐ)、工(gōng)業(yè)氣體(tǐ),並提供成套工藝設計(jì)、設備加工、技術轉讓及氣體(tǐ)檢測等服務。
◆華特(tè)氣體
主要涉及氣體:光刻氣、刻蝕氣體、摻雜氣體等
廣東華特氣體股份有限公司創建於1999年,主營業務以特種氣體的研發、生產及銷售(shòu)為核心,以普通工業氣體和相關氣體(tǐ)設備與工程業務為輔。公司的特(tè)種氣體產品至今已有約230餘種,率先實現了包括高純四氟化碳、高純六氟乙烷、光刻氣、高(gāo)純二氧化碳等近20種產品的進口(kǒu)替(tì)代,是中國特(tè)種(zhǒng)氣體國產化(huà)的先行者。
◆雅克科技
主要涉及氣體:刻蝕氣體
雅克科(kē)技股份有限公(gōng)司為深(shēn)交所上市公司。2017年10月份,公司收購成都科美特特種氣體有限公司90%股權、江(jiāng)蘇先科半導(dǎo)體新材料有限公司84.825%股(gǔ)權。在電子特氣方麵,雅克科技的“電子”事業部目前(qián)生(shēng)產(chǎn)和銷售四氟化碳和六氟化硫,這兩種材料可以用(yòng)於半導體的蝕刻和半導體製造設(shè)備的清洗。雅克科技除了目(mù)前在售(shòu)的三氟(fú)化碳和六氟化硫以外(wài),還在(zài)規劃新增三氟化氮(dàn)和高純氫氣的產能。
科美特產(chǎn)品已進入(rù)半導(dǎo)體特種氣體供應(yīng)鏈。科美特現已具備年產六氟化硫(liú)8500噸和年產(chǎn)1200噸電(diàn)子級四氟化碳的生(shēng)產能力,年產3500噸半導體(tǐ)用電子級三氟化(huà)氮項目(mù)正在建設中,對高純含氟特氣的製備(bèi)、提純(chún)與充裝等關鍵技術具備的(de)獨到理解,科美特通過積極研發開拓高附加值的IC電(diàn)子特氣產品,半導體級四氟化碳已實現量產銷售,六(liù)氟化硫達到(dào)電子級(jí)標準。
◆南大光電
主要涉及氣體:離(lí)子注入氣體,刻蝕氣體,鎢沉積氣體
江蘇南大光電材料股份有限公司(sī)是一家專業從事高(gāo)純電(diàn)子材料研發、生產和(hé)銷售的高新技術企業。南大光電立足LED氣體,衝擊集成電路(lù)特氣,南大光電的電子氣體在LED領域占有主導地位。南大光電的(de)主要產品MO源在國內外LED市(shì)場處於領先地位,是歐司(sī)朗、飛利普、科(kē)瑞等跨國公司的(de)重要供應商。
◆金宏氣體
主要涉及氣體:刻蝕氣體,沉積氣體
蘇州金宏氣體股份有限公司成立於1999年,一家專業從事氣體(tǐ)研發、生產、銷售和服務的環保集(jí)約(yuē)型綜合氣體供應商。已初步建(jiàn)立品類完備、布局(jú)合理、配送可靠(kào)的氣體(tǐ)供應和服務網絡,能夠為(wéi)電子半導體、醫療健康、節能環保、新(xīn)材料、新能源、高端裝備製造等(děng)行業客戶(hù)提供特種氣(qì)體、大(dà)宗氣體和(hé)51吃瓜网三大類100多個氣體(tǐ)品(pǐn)種。
◆巨(jù)化股份
主(zhǔ)要涉及氣體:刻蝕氣體,沉積氣體
巨化股份(fèn)是由基礎化工產(chǎn)業企業逐步轉型的(de)中國氟化工行業領先的企業。巨化股份(fèn)成立(lì)於1998年,經過20多年的發展,巨化股份已經形成了包括基礎配套原料、氟製冷劑、有機氟單體、含氟聚合物、含氟專用化學(xué)品等在內的完整的氟化工產業鏈,並涉足石油化工產(chǎn)業。
前期(qī)大手筆投入(rù)電子特氣,博瑞電子為實施主體,設(shè)立了子公司博瑞電子,專注(zhù)於電子特(tè)氣的生(shēng)產和銷售,並連續數年巨額(é)投資建設電子特氣技術和產能。
◆凱美特氣
主要涉及氣體:稀有氣體
凱美特(tè)氣是中國國內化工尾氣分(fèn)離行業的龍頭。凱美特氣(qì)進(jìn)軍電子氣體業務(wù),建25套電子特種氣(qì)體項目生產裝臵,采用低溫吸附(fù)、深冷精餾分離、電解、催化合成技術。該項目產(chǎn)品為“高端、精細、專(zhuān)業”的電子特種氣體混配氣體及同位素,屬於電子化學(xué)品和核能範圍內的同位素,應用領域廣泛,主要用於生產環節隔離去氧化、做保護氣、半導體清(qīng)潔氣體等。
◆三孚股份
主要涉及氣體:外延沉積氣體
三(sān)孚股份是一家資(zī)源綜合利(lì)用,產業循環(huán)發展的高科技化工企業。2017年6月滬市上市(shì)。三(sān)孚主要產品包括三氯氫矽、四氯化矽、光纖四氯化矽、氫氧化鉀、硫酸鉀、特種氣體等。
◆和遠氣體(tǐ)
主要涉及氣體:空分(fèn)大宗氣(qì)體和高純氫氣、氧氣
致力於各(gè)類氣體產品的研發、生產、銷售、服務以(yǐ)及(jí)工業(yè)尾氣回收循(xún)環利用,公司經營的主要氣體可(kě)大致分為三(sān)類:普通氣體(tǐ)、特種氣體以及清潔能源。主要滿足化工、食品能源、照明、家電、鋼鐵、機械、農業等基礎行業和光伏、通信、電子、醫(yī)療等新興產業對氣(qì)體和清潔能(néng)源的需求。
我國國內(nèi)某些電子氣體發展很快,已經打入了下遊客(kè)戶的(de)供應鏈。比如:
華特氣體的高純氟代烷烴已經進入了英特爾、美光科技、德州儀器(qì)、海力士等國際客戶和(hé)中芯國際、華虹宏力、長江存儲、武漢新芯、華潤微電子、台積電(中國)、和艦科技、士蘭微電子、柔宇科技、京東方等客戶的供應鏈,其光刻氣產品於2017年通過全球(qiú)最大的光(guāng)刻機供應商ASML公司的產品認證(zhèng),是我國(guó)唯一,世界僅(jǐn)有(yǒu)的四家氣體公司之一;
金宏氣(qì)體是國內率先打破高純氨技術壟斷的公司,已經得到(dào)了聯芯、華潤微、京東方(fāng)、三星(xīng)電(diàn)子等的認證,在國內的(de)市場占有率超過50%;
昊(hào)華科技的六氟化硫和三氟化氮、南大(dà)光電的磷烷和砷烷、北方特氣的乙硼烷、矽烷科技的(de)矽烷、派瑞特氣的三氟化氮和六氟化(huà)鎢等等,都通過自主研發(fā)打破了國外的技術壟斷,並已經在一定程度上得(dé)到了客戶的認可。
外國氣體公司在華的壟斷局麵已經鬆動,電子特氣(qì)市場將迎來越來越多的(de)中國“芯”勢力。