從 【兩會】看國內電子特氣發展現狀

民（mín）進中央：加速電子特種氣體國產替代

今年全國兩會期間，民進（jìn）中央提出《關於加速電子特種氣體國產替代的提案》，指出當前亟需加速電（diàn）子特氣國產替（tì）代，鼓勵支持（chí）國內氣體（tǐ）企業為我國半（bàn）導體產業發展自（zì）主可控“爭（zhēng）氣”。 

民進中央表示，目前，我國工業氣體行業對（duì）高端半導體產（chǎn）品的供應（yīng）體係還不夠完備（bèi），在海外氣體寡頭壟斷國際市（shì）場、把持高端產品資質認證的背景下，我國電子特氣行業發展壯大僅靠市場調節難以快速破局。麵臨的主要問題有：一是寡頭（tóu）壟斷市場格局已形（xíng）成，國內企業競爭劣勢明顯；生產原料經濟效益不高，企業（yè）投（tóu）產意願不強；下遊企業（yè）與海外供應（yīng）商合作粘（zhān）性較大，實施國產替代主觀意願不（bú）強；海外光刻機寡頭把持設備商資質認證高地，加劇國內氣體企業（yè）獲證難度。 

全國人大代表郭建增：盡快啟動（dòng）國家電子特氣（qì）重大專項 

今年全國兩會期間，全國人大代表，中國船舶集（jí）團有（yǒu）限（xiàn）公司第七一八研究所（suǒ）黨委委員、副所長郭建（jiàn）增指（zhǐ）出，受惠（huì）於國（guó）家政策及資金的扶（fú）持力度增加，我國的電子特氣企業已陸續解決了部（bù）分電子特氣（qì）材料國產化問（wèn）題，但仍存在一些（xiē）問題：多種產品處於“卡脖子”狀態，關鍵技術存在差（chà）距，國內電子特氣企業起步（bù）晚、發展慢。

據中國（guó）水運網報道，郭建增建議，盡快啟動國家電子特氣重大專項，以電子特（tè）氣龍頭企業為牽頭單位，聯合國內電子特氣相關（guān）企業，同時引入上遊（yóu）原物料、儀器設備、零備件等企業，下（xià）遊重（chóng）點集成電（diàn）路製造企業，共同研發卡脖子氣體。 

同時，他指出，針對未實現國產化的電子特氣產品，聚力突破當前電子特（tè）氣受製於人的關鍵（jiàn）核心技術，開展電子特氣全譜係產品研發規劃，力爭用三年時間，徹底解決國（guó）家電（diàn）子（zǐ）特氣卡脖子問題。 

電子特氣國（guó）內具體情況如何？

根據（jù）亞化（huà）谘詢發布的《中國半導體電子氣（qì）體年度報告》，2021年全球電（diàn）子氣體市場規（guī）模（mó）約為62.5億美元，較2020年增長7%以上（shàng）。其中電子大宗（zōng）氣體（tǐ）為17.1億美元（yuán），同比增加3.30%；電子特種氣體市場45.3億美元，同比增長8.40%。預計2022年全球電子特種氣體的市場（chǎng）規模市場容量超過50.01億美元，全球電（diàn）子特種氣體需求不斷提升，到2026年，電子氣體市場規模將達到每年90億美元（按當前下（xià）遊比例，對應電子（zǐ）特氣規模為65.34億美元）。

                    全球電子（zǐ）特氣（qì）競爭格局

市場（chǎng）格局方麵，全球電子特氣市場主要被德國林德、美國空氣化工、法國液化空氣以（yǐ）及日本大陽日酸占據，目前合計占據91%的市場份額；國內（nèi）市場海外龍頭企業也（yě）控製88%的份額，國內本土氣體企業（yè）的市場份額（é）不到20%。

不同（tóng）品種電子特氣需求

此外，不同電子特種氣（qì）體的使（shǐ）用（yòng）量、價格差別較大，因此市場規模也相差較大，其（qí）中全球市（shì）場規模排名靠前（qián）的電子特種（zhǒng）氣體為三氟化氮、六氟化鎢、六氟丁二烯、氨氣等，前十大氣體占比58%。

 從產品（pǐn）種類上看（kàn），由於電子氣體涵蓋摻雜氣體、外延（yán）氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體、CVD用氣體和平衡氣體等，種（zhǒng）類過百，常用品類（lèi）超過30種。據（jù）中國工業氣體工業協會統計（jì），目前集成電路生（shēng）產用的電子特氣，我（wǒ）國僅能生產約20%的品種，其餘均依賴進口。進口電子氣體（tǐ）價格（gé）昂貴、運輸不便（biàn），使得電子特氣國產替代需求強烈、空間廣闊（kuò）。

同時（shí）我們也注意到，目前國（guó）內已（yǐ）湧現一批專注於電子氣體的國產替代企業，如中船派瑞特（tè）氣（全球前（qián）十）、金宏氣體、華特氣體、德爾科技等（děng），實現WF6、NF3、六氟乙烷、矽烷等產品被卡脖子的問題。

對此，參考民進中央提出（chū）四點建議如（rú）下：

一是優化產業布局。支持（chí）國內龍頭企業積極布局產業鏈（liàn），引導冶金、氣（qì）體、半導體等（děng）相關領域企業集群發（fā）展，形（xíng）成以電子特氣龍（lóng）頭企業為鏈主的國家級產業集群，幫助國產電子特氣（qì）產（chǎn）品降低交易成本，拓展利潤空間，提高市（shì）場競爭力。目前（qián）國內電子特氣頭部（bù）企業多為民（mín）營資本控股（gǔ）的（de）混合（hé）所有製企業，在推動產業發展時，應對國有（yǒu）企業和民（mín）營企業一視同仁，支持民營頭（tóu）部企業積極發揮龍頭作用，同時發揮國有企業社會功能，補短板、強弱項。

二是加大政策扶持力度。為電子特氣產業鏈上下遊企業提供稅（shuì）費優惠、成本補貼，做（zuò）好供需對接，降低冶金企（qǐ）業生（shēng）產初純氣體（tǐ）成本、國內半導體企業（yè）采用國產電子特氣的試錯成本（běn）等，幫助國內（nèi）氣體企業加（jiā）大（dà）原料（liào）供應（yīng）、拓寬銷（xiāo）售渠道。同時，順應上下遊企業耦合黏性強、技術研發（fā）周期長等特點確定政策扶持周期，穩定市場預（yù）期，讓國企敢幹（gàn）、民企敢闖、外（wài）資敢投。

三（sān）是完善市場競爭（zhēng）機製。科學（xué）製（zhì）定政策實施的效果評價體係，建立退出（chū）機製、梯級激勵機製等競爭機製，確保獲扶持企業積極（jí）主動作為，維護行業市（shì）場競爭公（gōng）平性及市場配置效率，有效發揮財政資金（jīn）引導撬動作用。

四（sì）是培（péi）育質量認證服務市場。吸引海外頭部企業來華設立審（shěn）核認證服務平台，爭取縮短國內企業獲證交易（yì）成本，逐步掌握相關技術標準、管理服務（wù）經驗，同時積極參與電子特氣國際標準製修訂，爭取在產品資質認證上獲取更多主動（dòng）權。