電子特氣迎來中國“芯”勢（shì）力（lì）！一文帶你了解全球電子氣（qì）體主要生產企業

空氣化工產品（APD）在1940年成立（lì）於美國賓州，是全球第三大氣體供應（yīng）商。銷售和服務空分氣體、特種氣（qì）體、氣體設備等。 

APD公司是世界大宗工業氣體巨頭，也是電子特種氣體（tǐ）行業的先驅。APD公司主要生產大宗工業氣體和稀有（yǒu）氣體。大宗工業氣體（tǐ）包含（hán）氧（yǎng）氣，氮氣和（hé）氬氣等氣體，也包含氫氣、氦氣、二氧化碳、一氧化碳和合成（chéng）氣等工業氣體。2020年度營業（yè）收入為891.9億美元，淨利潤為17.6億美元。

◆林（lín）德集（jí）團

林德集團1879年成立於英國，2018年與氣體行業巨頭普萊克斯合並，成（chéng）為全球最大的工業氣體供（gòng）應商。林德（dé）集團氣（qì）體業務（wù）遍布全球，也是最（zuì）早進入中國（guó）的、布局最多的氣體行業外資巨頭（tóu）。

2020年全年公（gōng）司銷售額（é）為272億美元，營業利（lì）潤為58億美（měi）元，同比上漲10%林德集團成（chéng）立（lì）聯華林德，主攻中國市場。聯華林德自1984年（nián）以（yǐ）來，一直引領著中國大陸和中國台灣的氣體供應，並獲得了中國大陸和中（zhōng）國台（tái）灣的大宗氣（qì）體市（shì）場份額第一（yī）、電子特種氣體市（shì）場（chǎng）份額第五的（de）成績。

針對半（bàn）導體，聯華林德能提供涵蓋所有製造工藝的電子特種氣體廣泛的產品組合和大宗氣體解決方案；麵向平板顯示領域，聯華林德則有強大的N₂O供應（yīng）能力，還有專利的合成和純（chún）化（huà）技術；在太陽（yáng）能領域，則有矽烷（SiH₄）和氨氣（NH₃）的全球供應網絡；除（chú）了台積電，中芯國際、長江存儲、長（zhǎng）鑫科技以外，Intel大連、Samsung蘇州、京東方、華星光電都是（shì）林（lín）德集團服務過（guò）的客戶。 

◆法國液空集團

法國液（yè）空集團（tuán）1902年成立於法國巴黎，在林德集團與普萊克斯合（hé）並前是全球市值最大的氣體供應商。液化空（kōng）氣集團氣體業務遍布全球，主要為冶金、化工、能源等行業客（kè）戶供（gòng）應氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、一氧化氮等產品，也為汽車、製造業、食品、醫藥、科（kē）技等（děng）行業客戶提供工業氣體、製氣設備、安（ān）全裝臵等。

法國液空集團2020全（quán）年銷（xiāo）售額204.85億歐元(約244億美元。其中，氣體與服務（wù）銷售額196.65億歐元。

日本的特氣供給在行業（yè）內（nèi）處於領先（xiān）地位。當前在日本國內，半導體方麵的（de）高純度氣體（tǐ）市場規模約為40億元左右，在全球市場規模更大，約335億元。其“主戰場”為韓國、中國台灣、中（zhōng）國大陸等東南亞地區。另一方麵，供應高純度氣體的廠家依舊是日（rì）本企業占大多數。如昭和電工、太陽日酸、關東電化工業、ADEKA（艾迪科）、日（rì）本中央銷子、住友（yǒu）精華、大金工業等都生產和銷售（shòu）各種電子材料方麵的氣體。 

◆昭和電工（gōng）

日本昭和電工成立於1939年，是全球知名的綜合性集團企業，生產的產品涉（shè）及多種領域，設有化學品事業部，專門從事產業氣體、電子（zǐ）材料用（yòng）高純度氣體的研（yán）發、生產。

昭和電工株式會（huì）社在上海的生產基地-上海昭（zhāo）和電子化學材料有限公司的旁邊取得第二工廠建設用地，建設高純度N2O（一氧化二氮）和（hé）高純度（dù）C4F8（八氟環丁烷）的生產設施（shī），以及高（gāo）壓氣（qì）體危險品倉庫。第二工廠擬於2021年下半年投產。高純度N2O主要是半導體及顯示屏製造時的氧化膜的氧來源的特種氣（qì）體，高純度C4F8主要是（shì）這種氧化膜的微細加工（蝕（shí）刻）時的特種氣體。 

◆太（tài）陽日酸

TaiyoNipponSanso（太陽日酸）大陽日酸株式會社創立於1910年，是日本最大工業氣體（tǐ）製（zhì）造商，至今發展已經（jīng）有（yǒu）近110年曆史（shǐ），同時公司為領先的半導體氣（qì）體供應商，廣泛應用於IC（集成電路）和存儲器（半導（dǎo）體存儲設備）、液晶（jīng）、太（tài）陽能電池、LED和超精細機械結構。太陽日酸的電子（zǐ）特氣產品覆蓋了半導體製程中從沉積，清洗（xǐ），蝕刻再到離子注入等不（bú）同環節（jiē），還兼顧了用（yòng）於保護（hù）的惰性氣體品類。除了直接提供氣體產品，太陽（yáng）日酸還為客戶提供一係列（liè）氣體設備，供客戶現場製備氣體和儲存氣體而使用。 

◆關（guān）東（dōng）電（diàn）化

日本關東電化工業公司（sī）曆史悠久，技術積累深厚（hòu）。它成立於1938年（nián），在電解領域，主要是在氫氟酸電解製備高純氟氣，和（hé）氟相關的技術方麵有深厚的知識和技（jì）巧（qiǎo）的積累。主要（yào）應用領域包括電池化學、醫藥（yào）化學和農業化學等。日本關東電化工業在半導體領域主要以氟化物氣體為主。從生產環節上來說覆蓋了半導體清洗，蝕刻和沉積環節。 

◆艾迪科

艾迪科（kē）（ADEKA）是在曆史悠久（jiǔ）的食品和化工綜合供應（yīng）商。。

ADEKA在半導體電子特氣方麵以三種刻蝕氣體（tǐ）為主。它們分別是高純氯氣、高純溴化氫和高純三氯化硼。這（zhè）三種氣體在半導體材料（liào）的刻蝕流（liú）程上均有重要應用。 

我們通過對國（guó）內電子特氣（qì）公（gōng）司進行梳理，國內特氣公司實現國產替代呈現四（sì）個層級：

1.通（tōng）過產能（néng）優勢（shì）快速切入半導體刻蝕氣體，部（bù）分含氟氣體已經實現國產替代（dài），如三氟化（huà）氮、六氟化硫，代表企業有中船重工（718所）、昊華科技（昊華氣體）、雅克科技（科美特）、南大光電（飛源氣體）。

2.通過（guò）技術升級（jí）切入半（bàn）導（dǎo）體化學沉積，部分國產替代初顯成效，如（rú）六氟化鎢、四氟化碳，代表企業（yè）有中船重工（718所（suǒ））、昊華科技（昊華氣體（tǐ））、雅克科技（科美特）。

3.通過某種特氣進入核心供應商，切入多種半導體氣體，代表企（qǐ）業有華特氣體、南大光電。

4.從空分氣體或者大化工進入半導（dǎo）體（tǐ）領域，具備技術及（jí）產能儲備，代表企業有巨化股份（中巨芯（xīn））、三孚股份、金（jīn）宏氣體、凱美特氣（qì）、和遠氣體。 

◆中船（chuán）重工（718所）

主要涉及氣體：刻蝕氣體（tǐ），鎢沉積（jī）氣體

七一八研究（jiū）所隸（lì）屬於世界500強中國船舶集團有限公司，創立於（yú）1966年，總部位於河北省邯鄲市，已形成電子（zǐ）特氣材料、精細化工、空氣淨化、氫能產業、核電（diàn）裝備、節能環保、安防信息（xī）工程及特種裝（zhuāng）備等（děng）8大產（chǎn）業方（fāng）向。 

目前，中船重工第七（qī）一八（bā）研究所（派瑞特種氣體有限公（gōng）司）生產的三氟化氮、六氟化鎢及（jí）三氟甲（jiǎ）磺酸係列產品在國內占有（yǒu）率第一，同時銷往國外二十多個（gè）國家和地區。 

◆昊華科（kē）技（jì）

主要涉（shè）及氣體：刻蝕氣體，鎢沉積（jī）氣體

昊華化工科技集團股份有限公司（昊華科技）及其下屬研究所（suǒ）曆史悠久，積（jī）累深厚。 

昊華科技（jì）旗下黎明院和光明院是承擔著主要電子特氣業務（wù）的子公司。其中光明院以氫化物氣體為主，比（bǐ）如硫化氫硒化氫；而黎明院以氟化氣體為主，比如三氟化氮，四氟化碳，六氟（fú）化硫（liú）和六（liù）氟化鎢。 

公司子公司黎明院是（shì）最早從事六氟化硫（liú）研發的企業，亦是國內僅（jǐn）有的高純度六氟化硫研製企業。黎明院含氟氣體達到國內領先水平，主攻六氟化硫、三氟（fú）化氮。

 光明院主要產品為各類特種氣體、工業氣體，並提供（gòng）成套（tào）工藝設計、設備加工、技術轉讓及氣體檢測等服務。 

◆華特氣體

主要涉（shè）及氣體：光刻氣、刻蝕氣體、摻雜氣體等

廣東華特氣體股份有限公司（sī）創建於1999年，主營（yíng）業務以特種氣體的研發、生產及銷售為核心，以普通工業氣體和（hé）相（xiàng）關氣體設（shè）備與工程業務（wù）為輔。公司的特種氣（qì）體產品至今已有約（yuē）230餘種（zhǒng），率先（xiān）實現了包括（kuò）高純（chún）四氟化碳、高純六氟（fú）乙烷、光刻氣、高純二（èr）氧化碳等近20種產品的進口替代，是中國特種（zhǒng）氣體國產化的（de）先行者。

 ◆雅克科技

主要涉及氣（qì）體：刻蝕氣體

雅克科技股（gǔ）份有限公司為深交所上市公司。2017年10月（yuè）份，公司收購成都科美特特種氣體有限公司90%股權（quán）、江蘇先科半導體新材料有限公司84.825%股權。在電（diàn）子特氣（qì）方麵（miàn），雅克科技的“電（diàn）子”事業（yè）部目前生產和（hé）銷售四氟化碳和六氟化硫，這（zhè）兩種（zhǒng）材料可以用於半導體的蝕刻和半導體製造設備的（de）清洗。雅克科技除了目前在售的三氟化碳和六氟（fú）化硫（liú）以外，還在規劃新增三氟化氮和高純氫氣的產能。

科美特產品已進入半導體特種氣體供應鏈。科美特現已具（jù）備年產六氟化硫8500噸和年產1200噸電子（zǐ）級四氟化碳的生（shēng）產能力，年產3500噸半導（dǎo）體（tǐ）用電子級三氟化氮項目正在建設中，對（duì）高純含氟特氣的製備、提純與充裝等關鍵技術具備的獨到理解，科美特（tè）通過積極研發開拓高附加值的IC電子（zǐ）特氣產品，半導體級四氟化碳已實現量產銷售（shòu），六氟化硫（liú）達到電子級標準。 

◆南大光電

主要（yào）涉及氣體：離子注入氣體，刻蝕氣體，鎢沉積氣體

江蘇南大光電材料股份有限公司是一家專業從事高純電（diàn）子材（cái）料研發、生產和銷售的高（gāo）新技術企業。南大光電立足LED氣體，衝擊集成電路特氣，南大光電的電（diàn）子（zǐ）氣體在LED領域占有主導地位（wèi）。南大光電的主要產品MO源在國內外LED市場處於領先（xiān）地位，是歐司朗、飛利普、科瑞等跨國公司的重要供應商。

◆金宏氣體

主要涉及（jí）氣體（tǐ）：刻蝕氣體，沉積氣體

蘇（sū）州金（jīn）宏氣體股份有限公司成立於1999年，一家專業從事氣體研發、生產、銷售和服（fú）務的環保集約型綜合氣體供應商。已初步建立品類完備、布局（jú）合理、配送可靠的氣體（tǐ）供應（yīng）和（hé）服務網絡，能夠為電子半導體、醫療健康、節能環保、新材料、新能源、高（gāo）端裝備製造等行業客戶（hù）提供特種氣體、大宗氣體和51吃瓜网（qì）三大類100多個氣體品種。

◆巨（jù）化股份

主要涉及（jí）氣（qì）體：刻蝕氣體，沉積氣體

巨化股份（fèn）是由基礎（chǔ）化工產業企業逐步轉型的中國氟化工行業領先的（de）企業。巨化股份成立於1998年，經過（guò）20多年的發展，巨化股份已經形成了包括基礎配套原料、氟製冷劑、有（yǒu）機氟單體、含氟聚合物、含氟專用化學品等在內的完整的氟化工產業鏈，並涉足石油化工產業。

前期（qī）大手筆投（tóu）入電（diàn）子（zǐ）特氣，博瑞電子為實施主（zhǔ）體，設立了子公司博瑞電子，專注於電子特氣的生產和銷售（shòu），並連續數年巨額投資建設（shè）電子特氣技術和產（chǎn）能。

◆凱美特氣

主要涉及氣體：稀有氣體

凱美特氣是中國國內化工尾氣分離行業（yè）的龍頭。凱美特氣（qì）進軍電子氣體業務，建25套電子特（tè）種氣體項目生產（chǎn）裝臵，采用低溫吸（xī）附、深（shēn）冷精餾分（fèn）離、電解、催（cuī）化合成技術。該項目產（chǎn）品為（wéi）“高端、精細、專業”的電子特種氣體混配氣體及同位素,屬於電子化學（xué）品和核能範圍內的同位素，應用領域廣泛（fàn），主要用於（yú）生產環節隔（gé）離去氧化、做保護氣、半導體清潔氣（qì）體等。

◆三孚股（gǔ）份

主要涉及氣體：外（wài）延沉積氣體

三（sān）孚股份是一家（jiā）資源綜合利用，產業循環發展的（de）高（gāo）科技化（huà）工（gōng）企業（yè）。2017年6月滬市（shì）上市。三孚主要產品包括三氯氫矽、四氯化矽、光纖四氯化矽、氫氧化鉀、硫（liú）酸鉀、特種氣體等。

◆和遠氣（qì）體

主要涉及氣（qì）體（tǐ）：空分大宗氣體和高純氫（qīng）氣、氧氣

致力於各類氣體產品的研發、生產、銷售（shòu）、服務以及（jí）工業尾氣回收循環利用，公司經營的主要氣體可大致分（fèn）為三類：普通氣體（tǐ）、特種氣體以及清潔（jié）能源。主要滿足化工、食品能源、照明、家（jiā）電、鋼鐵、機（jī）械、農業等（děng）基礎（chǔ）行業和光伏（fú）、通信（xìn）、電子、醫療等新（xīn）興產業對氣體（tǐ）和清潔（jié）能（néng）源的需求。

我國國內某（mǒu）些電子氣體發展很快，已經打入了下遊客戶的（de）供應鏈。比如：

華特氣體的高純氟代烷烴已（yǐ）經進入了英特（tè）爾、美光科技（jì）、德州（zhōu）儀器、海力士等國（guó）際客戶和中（zhōng）芯（xīn）國際、華虹宏力、長江存儲、武漢（hàn）新芯、華潤（rùn）微電子、台積電（diàn）（中國）、和艦科技、士蘭（lán）微電（diàn）子、柔宇科技、京東方等客戶的（de）供應鏈，其光刻氣產品於2017年通過全球最大的光刻機供應商（shāng）ASML公（gōng）司（sī）的產品認證，是我國唯一，世界僅有的四家氣體公司之一；

金宏氣體是（shì）國內率（lǜ）先打破高純氨技術壟（lǒng）斷的公司，已經得到了聯芯、華潤微、京東方、三星電子等的認證，在國內的市場占有率（lǜ）超過50%；

昊華科技的（de）六氟化硫和三氟（fú）化氮、南大光電的磷烷和砷烷（wán）、北方特氣的乙硼烷、矽烷（wán）科技的矽烷、派瑞特氣的三氟化氮和六（liù）氟（fú）化鎢等（děng）等，都通過自主研發打（dǎ）破了國外的技術壟斷，並已經在一定程度上（shàng）得（dé）到了客戶的認可。

外國氣體公司在華的壟斷局麵已經（jīng）鬆動，電（diàn）子特氣市場將迎來越來越多的（de）中國“芯”勢力。

來源：化工平頭哥（gē）