高純氣體管道配管技術及常見氣體種類介紹

什麽是高純氣體（tǐ）管道配管技術？所謂的高純氣（qì）體配管（guǎn）技術，是包括（kuò）高純供氣係統的正確設計、閥門管件及附件的合（hé）理（lǐ）選擇、管道施工、安裝（zhuāng）試驗（yàn）和測（cè）試等；是高（gāo）純氣體供應係統的重要組成部分；是保證高純氣體安全穩定的（de）輸送到用氣點，且符合設備使用要求（qiú）的關鍵技術（shù）。

高純氣體管道工程應用領域

高純氣體管道係（xì）統工（gōng）程有著能保證（zhèng）氣體的純度、保證標準氣體流（liú）量、壓力穩定和量值傳遞不發生變（biàn）化等特點，廣泛應用於半導體、集成電路（lù）、光電、汽（qì）車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各種實驗室、科研研究所、標準測試等高科技行業。

常見氣體種類：

在電子工（gōng）業中普通氣體，也稱大宗氣（qì）體(Bulkgas)：氫氣（qì）(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氮氣(A2)等；除（chú）普通氣體外，電子工業還會用到大量的高（gāo）純特種氣體(Specialty gas )，如：SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等（děng）。這（zhè）些特殊氣體根據氣體性質，類別通常可分為腐蝕（shí）性、毒（dú）性、易燃性（xìng）、助燃性、惰性等（děng）。

常用半導體氣體分類如下:

1. 腐蝕性（xìng）/毒性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等

2. 可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等
3. 助燃性: O2、C12、N2O、W3等
4. 惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半導（dǎo）體行業中使用的電（diàn）子特種（zhǒng）氣體，很多都是對人體有害（hài）。比如，半導（dǎo）體製程工（gōng）藝最常見的特種氣體：矽（guī）烷（SiH4）就具有自燃特（tè）性，一旦發生泄漏，它們就會與空氣中的氧氣劇烈反應並開始燃（rán）燒。再比如磷烷（PH3）和坤烷（AsH3）也具有劇毒性，任（rèn）何輕微的泄漏都可能對（duì）人們的生命（mìng）造成（chéng）傷害。正是由於這些（xiē）明顯的危險，所以對於高純氣體供應係統設計的（de）安全性要求特別高。