51吃瓜网-51吃瓜网今日吃瓜资源-51吃瓜今日吃瓜入口-51吃瓜网黑料传送门今日更新

三氟化氮（NF3），在微電子工業中是一種優良的等（děng）離（lí）子蝕刻氣（qì）體，隨著（zhe）納米技（jì）術（shù）和電子工業的飛速發（fā）展，其需求量也在日（rì）益增加。高純三氟化氮（NF3）屬於電（diàn）子特（tè）氣（qì），毒性較強（qiáng），人體直接接觸（chù）會有很大的危險，這時，便需要電子特氣（qì）櫃這樣的（de）特種（zhǒng）氣體設備來保證氣體的純度和使用安全。

什麽是（shì）三氟化（huà）氮？

三氟（fú）化氮（nitrogen trifluoride）化學式NF₃，在常溫下是一（yī）種無色、無（wú）臭、性質（zhì）穩定的氣體（tǐ），是一種強氧化劑。NF3是低毒性物質，但是它（tā）能強烈刺激（jī）眼睛、皮膚和呼吸道粘膜，腐蝕組織（zhī），研究表明：大（dà）鼠吸入1000ppm·l小時未見死亡，但出現（xiàn）高鐵血紅蛋白血症，當吸（xī）入10000ppm·l小時有死亡，在（zài）2500ppm時吸毒（dú）後4小時（shí）死亡（wáng）。要知道（dào）在微電子行業刻蝕工藝中，所使用的NF3是儲（chǔ）存在氣體鋼瓶中的高純度壓縮（suō）氣（qì）體。

三氟化氮的應用領域：

高純三氟化氮（NF3）具有非常優異的蝕刻速率和選擇性（對氧化（huà）矽和矽），它在被蝕刻物表麵不留任何殘留物，同時是非常良好的清（qīng）洗劑。三氟化氮主要用於化學氣相澱積（CVD）裝置的清洗，同時在芯片製造、高能激光器方（fāng）麵得到了大量的運用。

三氟化氮可以單獨或與其它氣（qì）體組合，用（yòng）作等離子體工藝的蝕刻氣體，例如，NF3、NF3/Ar、NF3/He用（yòng）於矽（guī）化合物（wù）MoSi2的蝕刻；NF3/CCl4、NF3/HCl既用於MoSi2的（de）蝕刻，也用於NbSi2的蝕刻。

電子特氣櫃的功能作用：

電子特氣櫃（guì）是（shì）專（zhuān）為易燃易爆、毒性、腐蝕性等危險性氣體供應而設（shè）計的特種氣體係統設備，按類別（bié）可分為全自動、半自動和手（shǒu）動操作，有包括自動吹掃、自動切換以（yǐ）及緊急情況下的自動安全切斷（當設定（dìng）報警信號被觸發時）等基本功能。

其中全自動（dòng）電子特氣（qì）櫃采用（yòng）PLC為控製（zhì）主體，以觸（chù）摸屏（píng）進行係統顯示和設定，配合合理設計布局的高純閥件及氣體監測泄漏報（bào）警係統等，可保持氣體的安全穩定及高純度，保證實驗（yàn）或生產（chǎn）正常進行。

綜上，三（sān）氟化氮（NF3）是微電子行業中一種優良的等離子刻蝕氣體（tǐ），是（shì）一種對人體有（yǒu）很（hěn）大（dà）危險性的電子特氣，電子特氣櫃的作用是可以保證三氟化氮（NF3）氣體的運（yùn）輸安全、使用安全、氣體（tǐ）的純度和提供連續穩（wěn）定的氣體（tǐ）壓力。感謝您的閱讀！

電子特氣（qì）櫃對等離子刻蝕氣體三氟化氮（NF3）的作用