磷（lín）烷特氣櫃在半導體外延工藝（yì）中的知（zhī）識介紹

在半導（dǎo）體材料和器件的研究和生產中經常要使（shǐ）用各種具有易燃（rán）易爆、劇毒、腐蝕性的（de）特種氣體，磷烷（PH3）便是其中一（yī）種典型。在半導體製造中，這種氣體需通過磷烷特氣櫃等特氣係統設備輸送供氣，參與到製程工藝中，主（zhǔ）要用作半導體外延材料的生長源，在（zài）氣相外延（VPE）、金屬有機物氣相外延（MOVPE）等廣泛應用。

磷烷的氣（qì）體性質：

磷烷（PH3）：是一種無色、劇毒、易燃氣體，磷化氫按照高（gāo）毒性且（qiě）自燃的氣體處理，一般以液（yè）化壓縮氣體儲存於氣體鋼（gāng）瓶內。

磷（lín）烷（PH3）是一種人體吸收相當快的劇毒氣體，主要由呼吸道吸入中毒，吸入人（rén）體（tǐ）會對心髒、呼吸（xī）係（xì）統、腎、腸胃、神經係統和肝（gān）髒造成影響，空氣（qì）中濃度若達（dá）到1390mg/m3，會使人迅速（sù）死亡。對吸入中（zhōng）毒者應立即將中毒者移至新鮮空氣（qì）處，更換汙（wū）染衣服（fú），用水衝洗皮膚。

磷烷（PH3）主要用於矽（guī）外延的摻雜劑（jì），磷擴散的雜質源，同時也常用於其他一些半導體工藝中，如擴（kuò）散、離子注（zhù）入、多晶及非晶矽化學氣相澱（diàn）積、外延GaP材料、化合物半導體的MOCVD工藝等。

磷烷特氣櫃的作用：

磷烷特氣櫃是電子特氣係統中一種專為易（yì）燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計的特氣設備，基本（běn）功能有自動（dòng）吹掃、自動切換以及（jí）緊急情況下（xià）的自動安全切斷等，可以保證磷烷（PH3）在半導體製造中的用氣安全和氣體純度及提供（gòng）穩定的氣體壓力。