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特氣係統工程中(zhōng)特氣櫃的意義

來源: 更(gèng)新:2020-10-26 20:20:46 作者: 瀏覽:2390次

特氣係統是用於保證特種氣(qì)體安全使用的係統,大致由特氣設備、特種氣體管道和使(shǐ)用終(zhōng)端三部分組成,其中,特氣(qì)櫃(guì)是特氣係統的核心設備(bèi),關(guān)係著穩定輸送氣體、保證特種氣體的使用(yòng)安全和人員安全等功能。

特種氣體的氣體性質可以滿足行業的工藝需求,被廣泛應用於半導體、電子、液晶、光伏和太陽能電池等行業領域,但同(tóng)時,特(tè)種氣體大多都是危險性氣體,如SiH4、NF3等。所以保證特種氣體安全使用,是特氣係統存在的意義,那特氣櫃在這(zhè)裏(lǐ)麵起到什麽作用呢?

沃飛WOFLY全自動特氣櫃(GC)是專為易燃易爆(bào)、腐蝕性(xìng)、毒性等危險性特種氣(qì)體供應而(ér)設計(jì)的特氣設備,基本功能包括(kuò)自動吹掃、自動切換以及緊急情(qíng)況下的自動安全切斷(當設定報警信號被觸發時)。

沃飛(fēi)WOFLY全自動特氣櫃(GC)以PLC為控製主體,配合觸摸(mō)屏進行係統顯(xiǎn)示和設(shè)定,實現設備安全有效的運(yùn)行(háng)。其內部PLC程式設計的安全聯鎖(suǒ)功能、高純閥件的合理選(xuǎn)擇和布局,既滿足了半(bàn)導體工藝生產過程中對特殊氣體連續供給和(hé)高純度的要求,同時也確保了工廠正常生(shēng)產和員工人身安全。

沃飛WOFLY全自動特氣櫃(GC)擁有SIME 2認證,在產品品質和功能都是(shì)可以信賴和(hé)放心的,還可根據不同的氣體特性和氣(qì)體使用要求,搭配不同的盤麵設計,可以滿足客戶的行業需求。

綜上,特氣係統工程是一項比(bǐ)較重要又危險(xiǎn)的工程,特氣櫃是關係其(qí)中大部分功能的核(hé)心設備,沒有特氣櫃的(de)特氣係統工程是不完整(zhěng)的。感謝您的閱讀,更多特氣(qì)係統詳情,請關注我們!

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