


隨著現在半導體行業、科研實驗室和工業綜合廠房的不斷(duàn)發展(zhǎn),高純電子特氣係統得到了廣泛的應用。GR特氣架(jià)、GC特氣櫃(guì)這些特氣設(shè)備也在(zài)這些行業裏成為了標配,很容易就能見到。

高純電子特氣(qì)係統輸送的氣體,是特氣,具有腐蝕、劇毒(dú)等性質的危險性氣體,那它的特氣設(shè)備的配置、使用有(yǒu)哪些(xiē)規範呢?
GC特氣櫃是專(zhuān)為易(yì)燃易爆、腐蝕性、毒性等危險性氣體供應而設計(jì)的供應係(xì)統,按類別分全自動(dòng)、半自動和手動操作。基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動切換以及(jí)緊急情況下的自動安全切斷(當設定(dìng)報警信號被觸發時)。

咱們下麵以沃飛WOFLY全自動特氣櫃(GC)為例,全自動特氣櫃以PLC為(wéi)控製主體,配合觸摸屏進行係(xì)統顯示和(hé)設定,搭配不同的盤麵設計,以滿足太陽能、半導體(tǐ)行業需求。

特氣係統(tǒng)設備GC配置規範:
GC應配置(zhì)作業用(yòng)氣體麵板。

2. 氣(qì)櫃應有帶機械鎖的自關閉的櫃門,可實現自動關閉功能,並且配備防(fáng)爆玻(bō)璃觀察窗,遞交螺栓設計應滿足當地(dì)地震設防烈度的要求(qiú)。
3. 氣瓶櫃在櫃門(mén)關閉時,氣瓶櫃內部是處於負壓狀(zhuàng)態,而且不得低於100Pa,還有櫃內的排(pái)風換氣的頻率不(bú)能低於300次/H。
4. 報警偵測警報功能齊全。
5. 氣瓶櫃(guì)的板材需要有防腐蝕塗層(céng),且板材厚底(dǐ)不得低於2.5mm。
6. 急停按鈕應位於控製麵板上。

對於(yú)有特殊需(xū)求的客戶,WOFLY特氣櫃會配備一些其他(tā)的(de)安全裝備,比如:氣櫃裏安裝(zhuāng)噴淋頭,在(zài)氣體下遊流量過大是報警的(de)過流開關,需要安裝溫度(dù)開關的可燃氣體(tǐ)係統等,具體的(de)配置是根據需求(qiú)發生改變的。
以(yǐ)上,就是特氣係統裏(lǐ)的特(tè)氣設備,GC特氣櫃一些基(jī)礎配置規範啦。感謝您的閱讀!

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