伴隨著國民經濟（jì）的發展，特別是21世紀後我國電子行業的突飛猛進，國內特種氣體公司意識（shí）到了專有技術的重要性。我國在（zài）特種氣體生產、儲存等（děng）領域上取得了重（chóng）要突破，特別是電子特氣目前基本實現了國產化，基本（běn）打破了國（guó）外企業的壟斷。
電子氣體分類
| 應用領域 | 工藝（yì） | 產品 |
| IC集成電路及光纖 | 清洗和蝕刻用氣 | C2F6、C3F8、C4F8、CHF3、SF6、CL2、HCL、CF4等 |
| 成膜氣（qì）體 | SIH4、SI2H6、SIHCL3、SIH2CL2、CH4、C3H6 | |
| 摻雜及離子注入氣體 | ASH3、PH3、B2H6、GEH4 | |
| 外延片及LED | LED外延片 | 超高純NH3、三（sān）甲基镓、ASH3、PH3、H2 |
| 芯片段 | CL2、BCL3、SF6、N2O | |
| 藍寶石及PSS | BCL3 | |
| 太陽能電（diàn）池 | 單、多晶（jīng）矽生（shēng）產 | SiH4、CF4、NH3、高純CO2 |
| 薄（báo）膜太陽能電池 | SIH4、TMB、GEH4、DEZ、CH4、PH3 | |
| 銅銦镓硒太陽（yáng）能電池 | H2SE、SO2 | |
| LCD及AMOLED | — | SIH4、N2O、NF3、SF6、CL2、CO2、PH3+H2、HCL+H2+NE、BF3、NH3 |
近年來我國微電子、光電子（zǐ）等電子信息產業高速（sù）發展，促使這一塊所需（xū）使用氣體的飛速發展。由於微電子、光電子產（chǎn）業對氣體的使用要求極高，所以（yǐ）我們特將這個領域所使用的特種氣（qì）體叫電子（zǐ）特氣。電子特氣的使用行業主要有太陽能電池片、半（bàn）導體（tǐ）發光二極管（LED）、液晶麵（miàn）板、光纖、IC、半導體分立器件、線路板等高精尖行業。
隨著我國工業的發展和改（gǎi）革開放的不斷深入，主要跨國氣體公司都（dōu）紛紛進入中國，美國空氣（qì）化工、法國液化空（kōng）氣、德國林德、普萊克斯、日本大（dà）陽日酸、日商（shāng）岩穀氣體公司（sī）等（děng）已占領我國部分特氣（qì）市場，尤（yóu）其是電子氣體市場， 合資和獨資（zī）的半導體（tǐ）集成電路企業生產工藝中所使用的電子氣體被這些國外氣體（tǐ）公司所壟（lǒng）斷，這與半導體集成電路對氣體質量（liàng）、供（gòng）應的特殊要求有關。
但我國電子氣體行業在2006年後進（jìn）入快速發展階段。特別（bié）是在2010年以後，國內電子氣（qì）體市場不斷攻破國外的技術壟斷，矽烷、超純（chún）氨等等重要特種氣體進入（rù）國產化時代，我國電（diàn）子氣體依賴進口的局麵也（yě）在被迅速打破。目（mù）前國內電子（zǐ）氣體市場潛力巨大，半導體、光伏等行業的發展保證了電子氣體的旺盛需求，國內廠家也（yě）在不斷加大電子氣體的研發投入，可以料想的是國內電子氣（qì）體市場的發展將（jiāng）無可限量，同（tóng）時也將是工業氣體市場良（liáng）好的增長點。
