氬氣知識:氬氣的特殊用途

氬氣是目前工（gōng）業上（shàng）應用很廣的（de）稀有氣體。它的性質十分不活潑，既不能燃燒，也不助（zhù）燃。在（zài）飛機製造、造船（chuán）、原子（zǐ）能工業和機械工業部（bù）門（mén），對特殊金屬，例（lì）如鋁、鎂（měi）、銅及其合金和不鏽鋼在焊接時，往（wǎng）往（wǎng）用氬作為焊接保護氣，防止焊（hàn）接件（jiàn）被（bèi）空氣氧化或氮化。

       高純氬氣主要用途：用於焊接、不鏽鋼製造、冶煉，還用於半導體製造工藝中的化學（xué）氣相澱積、晶體生長、熱氧（yǎng）化、外延、擴散、多晶矽、鎢化、離子注入、載流、燒結（jié）等氬（yà）氣作為製作單晶及多晶（jīng）矽的保護氣，為了提高矽晶體的質量，如何選用較高純度（dù）的氬氣，是製（zhì）作矽（guī）晶體的一個議題。通過（guò）對本裝置（zhì）的（de）使用，氬氣的純度其中氧含量小於1ppm時，水分也小於1ppm時，製作出的（de）單（dān）晶矽其（qí）氧碳含量就小於（yú）0.5ppm，這樣就提高了單晶的使用壽命（mìng）並能達到要（yào）求（qiú），贏得客戶的滿（mǎn）意和市場的需求。由於一（yī）般液（yè）氬汽化（huà）後未經過純化處（chù）理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有時氣體供（gòng）應商提供的（de）氬氣超過了此範圍，但使用氬氣（qì）的客戶確不知道其質量，所以往往給（gěi）生產產品質量造成影響（xiǎng）。有了氬氣純（chún）化裝置後不論氬原料氣的質量如何，隻要經過純化裝置的處理後，進入拉晶爐的氬氣，純度始終是恒定的。一般 O2＜0.2ppm,水分＜1ppm，這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有保證的。